يتم استخدام السطح المستوي بواسطة ماسح ضوئي مسطح أو ماسح ضوئي ضوئي لمسح المستندات ضوئيًا. لا يلزم نقل الورق لأن الماسح الضوئي قادر على التقاط جميع عناصره. تعد الماسحات الضوئية المسطحة مفيدة لمسح العناصر الحساسة مثل الصور الفوتوغرافية القديمة والمخطوطات والمستندات الهشة الأخرى. يمكن أن يشير المصطلح "مسطح" أيضًا إلى ماسح ضوئي مسطح.